涂层
正文
量产处理用离子电镀装置 SQ-3-8
规格
| 膜质 (※1)（膜厚） | TiN、TiCN(※2)（2～4μm(最高5μm)）、 "Cronion"(※2)（3～6μm(最高7μm)） |
|---|---|
| 处理温度 | 涂层的最后工序约为400～500℃ |
| 处理有效尺寸 | 直径220mm×高度400mm×8轴 |
| 处理品重量 (包括夹具在内的每根轴) |
自转公转时 最高25kg、未自转公转时 最高40kg |
| 构成设备 | 涂层装置主机、排气装置、电源装置、控制装置、 控制用计算机、温水槽 |
| 公用设施 | 电力、冷却水、氩气、原料氮气、冷却用氮气 压缩空气、蒸发金属 |
| 选购件 | 夹具、清洗装置、膜厚测量仪、划痕测试仪、脱磁器、 检漏仪 |
(※1) 装置中配有TiN或Cronion成膜软件。
(※2) TiCN膜为选购项。
配置图
