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涂层

正文

标准型离子电镀装置 SH-4-8

规格

膜质 (※1)(膜厚) TiN、TiCN、VC(※2)(2~4μm(最高5μm))、
"Cronion"(※2)(3~6μm(最高7μm))
处理温度 涂层的最后工序约为400~500℃
处理有效尺寸 直径170mm×高度320mm×8轴
处理品重量
(包括夹具在内的每根轴)
自转公转时 最高10kg、未自转公转时 最高15kg
构成设备 涂层装置主机、排气装置、电源装置、控制装置、
控制用计算机、温水槽
公用设施 电力、冷却水、氩气、原料氮气、冷却用氮气
压缩空气、蒸发金属
选购件 夹具、清洗装置、膜厚测量仪、划痕测试仪、脱磁器、
检漏仪

(※1) 装置中配有TiN或Cronion成膜软件。
(※2) TiCN膜、VC膜为选购项。


配置图