ロボット
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ガラス基板搬送用ロボット
SCシリーズ SC400LC |
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| 第10世代ガラス基板まで対応可能な余裕の可搬質量400kg。 多関節型の特長を活かし、水平搬送だけではなく、反転などガラス基板を搬送するあらゆるシーンで活用いただけます。 | |||
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ST-CFシリーズ ST133CF/166CF/210CF-01 |
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| 最大可搬質量210kgまで対応し、大型パネルの搬送に最適です。 クリーン度はISOクラス6に対応。大型LCDを採用したティーチングペンダントにより簡単でわかりやすい操作が可能です。 |
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SJシリーズ |
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| 第7世代から、第9世代にまで対応した大型ガラス基板搬送ロボットです。 クリーン度はFED規格クラス10。独自のリンク構造を採用することで、たわみ・振動の低減と剛性の確保を実現しました。 |
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