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机器人
正文
搬运玻璃基板的机器人
SC系列 SC400LC |
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| 可适用于最大第10代玻璃基板，能搬运的重量达400kg。有效利用多关节型的特点，不仅可用于水平搬运，还可广泛用于翻转等所有形式的玻璃基板搬运。 | |||
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ST-CF系列 ST133CF/166CF/210CF-01 |
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| 能搬运最大重量为210kg，最适用搬运大型面板。 洁净度符合ISO6级标准。通过采用大型LCD的示教器，使操作简单。 |
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SJ系列 |
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| 可应用于第7代至第9代的大型玻璃基板搬运的机器人。 洁净度为FED10级标准。采用独有的连杆结构，降低了弯曲和振动，并保证了刚度。 |
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